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石英坩埚的普遍利用
- 2019-11-15-

  石英坩埚,具备高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节俭动力、品质不变等长处,利用愈来愈普遍。石英坩埚的检测任务是一个非常首要的关键,并且石英坩埚的检测朝向现场检测标的目的成长!

  1.石英坩埚可在1450度以下利用,分通明和不通明两种。用电弧法制的半通明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,成长大范围集成电路必不可少的根本资料。现今,天下半导体财产发财国度已用此坩埚代替了小的通明石英坩埚。他具备高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节俭动力、品质不变等长处。

  2、不能和HF打仗,低温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐感化。

  3.石英坩埚适于用K2S2O7,KHSO4作熔剂熔融样品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔剂处置样品。

  4.石英质脆,易破,利用时要注重。

  5.除HF外,

  通俗稀无机酸可用作洗濯液。国际经常利用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸22英寸也有厂家利用22及以上的坩埚。今朝国际坩埚出产大厂家出产的坩埚手艺都比拟成熟。

  今朝坩埚出产涂层手艺已被大大都厂家利用便是在通俗石英砂溶制的坩埚外表涂上一层二氧化钡溶液使其构成致密层,其致密层能禁止单晶硅低温拉制进程中硅与石英坩埚反映进步成晶率。